表面検査
（傷・粗さ・硬度）

ドイツOptoSurf社にて開発された光学式表面測定機 OS 500を搭載。測定面に照射したLEDスポット光の散乱角分布解析により、ウェハの粗さ・反り・うねりを高速・非接触で計測可能。

• インライン全面検査を可能とする計測スピード
• 非接触計測により検査時のキズ、へこみを防止
• 自動合否判定プログラムによる検査の省人化を実現

装置本体

測定方法	非接触LED散乱光方式
光源	LED 670nm（Φ0.9mm） ※オプションLD（Φ0.03mm）
データ速度	2000/s
ウェハサイズ	最大 300mm
スループット	30～60秒（条件による） ※ウェハサイズ300mm 光源 Φ0.9mm
インターフェイス	SECCS/GEM
寸法	L700×W700×H1800mm
重量	約100kg

粗さ測定性能

Ra計測範囲※	0.5nm-200nm
校正標準	<Ra 0.5nm
MSA TEST （Type1）	cg>1.33

形状測定性能

測定角度	-12°…+12°
範囲※※	（0.01μm-4mm）
うねり	最小 1nm 方位分解能 < 60μm

^※ Ra値は、高精度トポグラフィー測定システムとの相関測定に
基づいています。
^※※ 4mmは、基準長さ20ｍｍに対し4mmの高さを意味します
（局所的測定角度11°）