ドイツOptoSurf社製OS-500は、表面性状を高速に、しかもインラインで検査可能にするコンセプトで開発されました。照射した光が表面から反射する際、表面粗さに応じ散乱の程度が異なるという原理を用い、その散乱光の角度分布から表面粗さを解析します。
また、表面を連続的にスキャンすることで輪郭形状を算出可能です。円筒の物を測定すると、得られた輪郭形状から真円度が算出できます。ギヤシャフト、ベアリング、ボールネジなどに見られる微小なうねり（チャタマークと呼ばれ、音や振動の発生源）や、研磨加工品の加工具合、加工残りのチェック、さらには機上に設置することで、工具の摩耗チェックや砥石再成形のタイミング制御も可能です。

非接触光学式表面検査機（表面粗さ）

よくあるご質問

測定対象物の材料に制限はありますか？

本製品は散乱光方式のため、光が反射しないものについては測定が困難です。

定期的な校正は必要でしょうか？

オプションで校正ツールを追加できます。本ツールがあればお客様側で校正可能です。

測定用の光源スポット径はいくつですか？

いくつか種類があるため測定内容に基づいて提案いたします。