欠陥検査
（内部・表面微細欠陥）

振動子によって対象に特定周波数のエネルギーを与えます。この時、対象物にクラックや剥離などの欠陥が存在した場合、与えられたエネルギーがこれらの欠陥界面で摩擦による微弱なエネルギーを発生します。

この微弱な熱量と、印加した周波数等の情報からエネルギー変動を可視化することにより、欠陥部を可視化することが可能となります。複雑構造部品の亀裂検査等の自動化に適しています。